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《微細(xì)加工技術(shù)》雜志創(chuàng)刊于1983年,是國(guó)家科委和國(guó)家新聞出版署批準(zhǔn),國(guó)內(nèi)外公開發(fā)行的中央級(jí)重要科技期刊。
本刊綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)。
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(一)基本要求來(lái)稿要求題材新穎、內(nèi)容真實(shí)、論點(diǎn)明確、層次清楚、數(shù)據(jù)可靠、文句通順。文章一般不超過5000字。投稿請(qǐng)寄1份打印稿,同時(shí)推薦大家通過電子郵件形式投稿。
(二)文題文題要準(zhǔn)確簡(jiǎn)明地反映文章內(nèi)容,一般不宜超過20個(gè)字,作者姓名排在文題下。
(三)作者與單位文稿作者署名人數(shù)一般不超過5人,作者單位不超過3個(gè)。第一作者須附簡(jiǎn)介,包括工作單位、地址、郵編、年齡、性別、民族、學(xué)歷、職稱、職務(wù);其它作者附作者單位、地址和郵編。
(四)摘要和關(guān)鍵詞所有論文均要求有中文摘要和關(guān)鍵詞,摘要用第三人稱撰寫,分目的、方法、結(jié)果及結(jié)論四部分,完整準(zhǔn)確概括文章的實(shí)質(zhì)性內(nèi)容,以150字左右為宜,關(guān)鍵詞一般3~6個(gè)。
(五)標(biāo)題層次一級(jí)標(biāo)題用“一、二、……”來(lái)標(biāo)識(shí),二級(jí)標(biāo)題用“(一)、(二)、……”來(lái)標(biāo)識(shí),三級(jí)標(biāo)題用“1.2.”來(lái)標(biāo)識(shí),四級(jí)標(biāo)題用“(1)、(2)”來(lái)標(biāo)識(shí)。一般不宜超過4層。標(biāo)題行和每段正文首行均空二格。各級(jí)標(biāo)題末尾均不加標(biāo)點(diǎn)。
(六)計(jì)量單位、數(shù)字、符號(hào)文稿必須使用法定的計(jì)量單位符號(hào)。
(七)參考文獻(xiàn)
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為保證本刊的權(quán)威性,杜絕任何形式的抄襲稿。稿件文責(zé)由作者自負(fù),編輯部有權(quán)作必要的修改。文稿在3個(gè)月內(nèi)未收到退修或錄用通知,作者可自行處理,另投他刊。未被錄用的稿件一般不退稿,請(qǐng)自留底稿。
0.1微米電子束曝光機(jī)成像系統(tǒng)的計(jì)算
激光直寫系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝
LIGA技術(shù)制作Fresnel波帶片的研究
金屬型場(chǎng)發(fā)射陣列的研究
一種微摩擦力光學(xué)測(cè)試方法
SU-8環(huán)氧樹脂的分離實(shí)驗(yàn)研究
利用等離子體表面預(yù)處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性
多層薄膜微結(jié)構(gòu)熱應(yīng)力計(jì)算
脈沖電鍍制備硅基細(xì)晶鎳鐵合金薄膜
PECVD法制備的ZnO薄膜結(jié)晶性能的影響
采用氨化技術(shù)制備成簇生長(zhǎng)的光滑線狀氮化鎵
痕量爆炸物爆燃探測(cè)敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
新型壓電微噴的研制
硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究
MEMS微電磁驅(qū)動(dòng)器磨損對(duì)光開關(guān)性能的影響分析
資助課題 | 涉及文獻(xiàn) |
國(guó)家自然科學(xué)基金(90307003) | 13 |
山東省自然科學(xué)基金(Y2003G03) | 12 |
國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(2003CB716204) | 7 |
國(guó)家自然科學(xué)基金(59671051) | 7 |
山東省科技攻關(guān)計(jì)劃(022090105) | 7 |
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2004AA404260) | 5 |
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404150) | 4 |
國(guó)家自然科學(xué)基金(10572078) | 4 |
國(guó)家自然科學(xué)基金(50275140) | 4 |
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404140) | 3 |
資助項(xiàng)目 | 涉及文獻(xiàn) |
國(guó)家自然科學(xué)基金 | 256 |
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃 | 65 |
國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃 | 54 |
國(guó)家教育部博士點(diǎn)基金 | 17 |
國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金 | 15 |
山東省自然科學(xué)基金 | 13 |
中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程 | 11 |
中國(guó)博士后科學(xué)基金 | 10 |
上海市自然科學(xué)基金 | 8 |
中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目 | 8 |
級(jí)別:省級(jí)期刊
榮譽(yù):中國(guó)優(yōu)秀期刊遴選數(shù)據(jù)庫(kù)
級(jí)別:部級(jí)期刊
榮譽(yù):中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù)(CJFD)
級(jí)別:CSCD期刊
榮譽(yù):中國(guó)優(yōu)秀期刊遴選數(shù)據(jù)庫(kù)
級(jí)別:省級(jí)期刊
榮譽(yù):中國(guó)優(yōu)秀期刊遴選數(shù)據(jù)庫(kù)
級(jí)別:部級(jí)期刊
榮譽(yù):中國(guó)優(yōu)秀期刊遴選數(shù)據(jù)庫(kù)